Großkammer-Rasterelektronenmikroskop (GK-REM)

Dem Institut für Werkstoffkunde steht ein Großkammer-Rasterelektronenmikroskop zur Verfügung, mit dem auch große Bauteile elektronenmikroskopisch untersucht werden können, ohne relevante Bereiche aus dem Bauteil trennen zu müssen. Dies ist speziell bei Bruchuntersuchungen von Vorteil, da eine gesonderte Probenpräparation durch heraustrennen entfallen kann. Die Strahlerzeugung und die Detektoren zur Erfassung der Messsignale entsprechen dabei denen in konventionellen Elektronenmikroskopen wodurch eine vergleichbare Analysequalität sichergestellt werden kann.

Technische Daten

Hersteller	VisiTec / Ellcie
Typ	Mira VP
Detektoren	QBSD, SE, VPSE, EDX
Kontrastarten	Elementkontrast, Topographie, Elementanalyse/Mapping
Auflösung	20 nm
Probenmaße	Durchmesser: 700 mm, Höhe: 600 mm
Betriebsmodi	HV-Modus und VP-Modus für nichtleitende Proben