M. Sc. Mareike Dukat
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58453 Witten
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Publikationen
Konferenz
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(2022): Yttria coatings as wear protection layer in the semiconductor industry, DVS-Berichte, Band 380, DVS Media GmbH, Düsseldorf, S. 939-944
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(2022): Yttria Coatings as Wear Protection Layer in the Semiconductor Industry, Thermal Spray 2022: International Proceedings, S 939-944, 04.-06.05.2022, Wien, Österreich
DOI: 10.31399/asm.cp.itsc2022p0939 -
(2023): Herstellung dichter Yttriumoxidbeschichtungen durch atmosphärisches Plasmaspritzen als Schutzschichten für die Halbleiterindustrie, Tagungsband 5. Symposium Materialtechnik, 2023, 810
ISBN: 978-3-8440-9105-2