FE-REM Rasterelektronenmikroskop ZEISS Supra 55 VP
- FE-REM, Auflösung 1,2 nm, Strahlstrom max. 100 nA
- Niedervakuum-Modus
- Detektoren: SE (Kammer), InLens SE, VPSE, 4Q-BSD
- Analytik: EDX, EBSD (Bruker)
- In-situ-Zug/Druckmodul
Ansprechpartner:
Dr.-Ing. Torsten Heidenblut
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An der Universität 2
30823 Garbsen
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