FE-REM-FIB-Zweistrahlsystem Zeiss AURIGA 

• FE-REM, Auflösung 1,2 nm, Strahlstrom max. 100 nA
• Focused Ion Beam FIB: Ga-Ionen, Auflösung 2,5 nm
• Gasinjektionssystem GIS 5-fach (Pt, C, W,...)
  • Charge Compensation
• Mikromanipulator, In-situ-Plasmacleaner
• Detektoren: SESI, 4Q-BSD, InLens SE, InLens EsB, STEM
• Analytik: EDX, EBSD (Oxford)
  • 3D-Analytik
• ATLAS-3D: FIB-Tomographie, Nano-Patterning
• 3D-Visualisierungs-Software ORS visual SI