Schutzgasraum für XHV-adäquate Prozesse

In dieser Handschuhbox wird mit nicht übertragenen thermischen Plasmalichtbögen gearbeitet. Dabei werden in Argon- oder Heliumatmosphäre mit Restsauerstoffgehalten < 25 ppm Untersuchungen zum Abschmelzverhalten und der Benetzung von Werkstoffen, Vorgängen an der Metalloberfläche und im Lichtbogen durchgeführt.

Der Schutzgasraum besteht hauptsächlich aus drei Teilen:

Schutzgaskammer zur Arbeit mit reaktiven Prozessgasen
Schleusensysteme
Eingriffen in der Frontscheibe

Technische Daten und Merkmale

geschlossene mit Schutzgas füllbare Arbeitskammer
Handhabung: manuell verstellbares 3-achs System (x ca. 100 mm; y ca. 100 mm, z ca. 600 mm)
automatische Verfahreinheit Linearachse ca. 100 mm (Modus: Poti geregelt – hin/her)
Kammergröße: Höhe ca. 1350 mm; Breite ca. 1200 mm; Tiefe ca. 900 mm
Sauerstoffkontrolle: mittels Sauerstoffmessgerät
Arbeiten im leichten Überdruck durch steten Argonzustrom in die Kammer
Eingriff in den Arbeitsraum über 5 Handschuhöffnungen in der Frontscheibe
2 Vakuumschleusensysteme

Gase und Medienversorgung

Füllgase:

Argon
Helium
Argon/Helium Gemische
Stickstoff
werden eingebracht über einen einstellbaren Volumenstrom
Füllzeit ca. 12-24 Stunden

Silanhaltige Prozessgase:

Argon N50 mit 1,5 Vol.% Silan UHP
Helium N46 mit 1,5 Vol.% Silan UHP
werden eingebracht über einen Kunststoffschlauch und mittels einer Gaskanüle auf den Reaktionsort gerichtet
Gassteuerung über ein Spezialmanometer, welches anschließend gespült werden muss