Der Schutzgasraum besteht hauptsächlich aus drei Teilen:
- Schutzgaskammer zur Arbeit mit reaktiven Prozessgasen
- Schleusensysteme
- Eingriffen in der Frontscheibe
Technische Daten und Merkmale
- geschlossene mit Schutzgas füllbare Arbeitskammer
- Handhabung: manuell verstellbares 3-achs System (x ca. 100 mm; y ca. 100 mm, z ca. 600 mm)
- automatische Verfahreinheit Linearachse ca. 100 mm (Modus: Poti geregelt – hin/her)
- Kammergröße: Höhe ca. 1350 mm; Breite ca. 1200 mm; Tiefe ca. 900 mm
- Sauerstoffkontrolle: mittels Sauerstoffmessgerät
- Arbeiten im leichten Überdruck durch steten Argonzustrom in die Kammer
- Eingriff in den Arbeitsraum über 5 Handschuhöffnungen in der Frontscheibe
- 2 Vakuumschleusensysteme
Gase und Medienversorgung
Füllgase:
- Argon
- Helium
- Argon/Helium Gemische
- Stickstoff
- werden eingebracht über einen einstellbaren Volumenstrom
- Füllzeit ca. 12-24 Stunden
Silanhaltige Prozessgase:
- Argon N50 mit 1,5 Vol.% Silan UHP
- Helium N46 mit 1,5 Vol.% Silan UHP
- werden eingebracht über einen Kunststoffschlauch und mittels einer Gaskanüle auf den Reaktionsort gerichtet
- Gassteuerung über ein Spezialmanometer, welches anschließend gespült werden muss
Dr.-Ing. Thomas Hassel
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